清华大学，淄博高新技术产业开发区MEMS研究院，山东博华电子科技发展有限公司-清华大学技术创新研究中心

简介：

MEMS加工平台及其应用是MEMS产业发展重要的支撑，具有应用灵活、技术可扩展、研发周期短和技术与产品迭代速度快的特点。项目成果申请发明专利58项，获得授权18项，发表文章67篇（SCI、EI），撰写学术专著1部。以项目成果为基础的核心专利已转让至同方华创等相关单位，并实现了多项成果转化，同时，该项目创建的体硅MEMS加工平台也先后为厦门大学等十余家单位提供优质的加工服务，形成了良好的社会效益和经济效益。